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工艺气体过滤

完美工艺

半导体用功率工艺气体过滤

UHP工艺气体过滤器用于传统工艺气体过滤的常见问题,例如,过滤器可能释放有害杂质气体以及粒子脱落。在例行维护和发生系统扰乱时,颇尔卓越的过滤器利用行业领先的金属纤维技术,可以快速置换气体和实现分子透明性。无O型圈Gaskleen® IVV PTFE膜可避免O型圈变形和过滤器旁路,否则用于临界氨气(NH3)和臭氧(O3)应用时与标准O型圈不相容时会导致出现该情况。

 

应用:

 

  • 散料分配系统
  • 使用点(POU

 

优点:

 

  • 减少与气体相关的缺陷
  • 可定制滤材,过滤各种气体
  • 行业领先的过滤器品质
  • 减少脱气和颗粒物杂质

 

颇尔工艺气体过滤系统清除关键半导体UHP气流中的颗粒污染物。请联系颇尔专家,了解避免缺陷和提高产率以实现现场最大性能的更多信息。 

 

有关提高工艺效率的更多信息,请联系我们的过滤专家团队。

 

 
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