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湿法蚀刻和清洗

高纯度,高效率

颇尔湿法蚀刻清洗过滤器可清除LED产品相关污染物

随着用于生产LED的衬底晶片尺寸的增加,用于清洗和湿法脱模工艺的液体化学品数量也会增加。这些循环化学浴使用的过滤器必须实现高纯和高效过滤以及长期使用寿命,以降低LED和高亮度发光二级管(HBLED)制造工艺的相关成本。

 

UltiKleen系列筒式过滤器使用全氟聚合物制成,其相容性优异,可抽出物含量低且可实现大流量。可选低至20nm的各种滤除额定值。

 

Flex Bowl过滤器外壳系统可提供高灵活性的模块化过滤解决方案,更换过滤器需要的工具空间极小。可选项目包括高纯度的可重用PFA外壳、高纯度的PFA一次性滤囊或低成本的HDPE一次性滤囊。

 

UltiKleen KC组件是全部一次性使用的全氟聚合物过滤器,不使用O型圈,具有优异的相容性、高温和高压工作能力。

 

颇尔湿法蚀刻清洗过滤器可避免导致LED产品用关键清洗和湿法脱模工艺产生污染物的缺陷。请立即联系颇尔专家,了解更多信息。

 

 

有关提高工艺效率的更多信息,请联系我们的过滤专家团队。

 

 
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