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工艺气体净化

纯净可靠的解决方案

有效清除关键工艺气流中的分子杂质,提高LED产率

LED装配厂利用大流量气体设施为工厂提供各种大容量工艺气体。在组装工厂内,大流量气体流经包括阀门、流量控制装置和各种监控设备的气体分散系统。为了高效运行,气体不能含有杂质。颇尔工艺气体净化系统清除工艺气体中的杂质,严重威胁LED装置的性能。

 

分子杂质,也被称作气态或挥发性杂质,最近作为缺陷源而更受关注,也可以使用颇尔专家净化解决方案有效滤除。特殊设计的过滤器可排除水分、氧气、二氧化碳、一氧化碳、烃和金属羰基化合物等杂质。净化系统利用材料反应床,从而排除传统颗粒过滤无效区内气流中的杂质。使用高纯度材料可清除背景水平的污染物,不会在工艺流中产生金属或其它有害污染物。 

 

颇尔产品:

大流量Emflon®滤芯和外壳以及大流量气体净化橇装过滤器最适于性价比高的过滤和散装高纯度气体的净化。进入处理室的气体纯度对LED设备性能很关键。颇尔净化器组件提供所需浓度的气体,以满足LED制造规范的要求。设计用于LED制造的大量气体应用,其流量超过2000Nm³/小时。大流量Emflon过滤器专门用于单滤芯实现高达6500Nm³/小时的流量。3nm清除额定等级可确保清除工艺气流中的所有挥发性杂质。所有颇尔过滤器都经过100%完整性测试,外壳可选各种连接尺寸、类型、表面处理和规范要求,以满足LED制造商规格要求。

 

Gaskleen V过滤器组件和Gaskleen净化器组件为气体提供使用金属-有机化学蒸汽沉积(MOCVD)组装LED活动层所需要的纯度。进入反应室的气体纯度对LED设备性能很关键。装在不锈钢外壳内的氟聚合物滤筒以及无型圈设计可提供优异质量和高耐用性。3nm颗粒滤除可确保消除引起杂质的缺陷。过滤器构造中使用的垫片密封和压力接头可兼容LED制造使用的多种工艺气体。

 

优点:

  • 提高工艺稳定性
  • 提高面积/工艺效率
  • 减少HBLED缺陷
  • 减小现有颗粒过滤器的改装
  • 定制滤材,以净化各种气体
  • 拥有成本(COO)低

 

颇尔工艺气体净化系统和材料可有效清除颗粒过滤无效区域内的杂质。请联系颇尔专家,帮助您优化工艺气体净化系统,通过减少缺陷和提高产率实现最大现场效果。

 

 

 

有关提高工艺效率的更多信息,请联系我们的过滤专家团队。

 

 
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